O aluno de mestrado Kung Shao Chi recebeu o prêmio de melhor trabalho apresentado no 38th Symposium on Microelectronics Technology and Devices (SBMicro 2024). O simpósio da SBMicro é um fórum internacional dedicado à fabricação e modelagem de microssistemas, circuitos integrados e dispositivos realizado anualmente no Brasil. Neste ano o evento foi realizado em João Pessoa-PB entre 02 e 06 de setembro, reunindo pesquisadores e estudantes do Brasil, Estados Unidos da América e de diversos países da Europa e da Ásia, além de membros do Ministério da Ciência, Tecnologia e Inovação (MCTI) e de empresas das áreas de semicondutores e instrumentação. Kung é orientado pelo professor Marcos Puydinger e desenvolve seu trabalho experimental no Centro de Componentes Semicondutores e Nanotecnologias (CCSNano) da UNICAMP. Este é o segundo ano consecutivo em que um aluno da FEEC com pesquisa realizada no CCSNano é agraciado com o prêmio da SBMicro. Em seu projeto, Kung desenvolve nanofios de silício com dimensões mínimas de 90 nm de largura e 15 nm de espessura tensionados mecanicamente e estuda o fenômeno da piezoresistência gigante desses nanofios em níveis de stress superiores aos empregados pela indústria. No trabalho agraciado com o prêmio, Kung e seu orientador desenvolveram um processo simplificado de fabricação que permite tensionar nanofios de silício de maneira autônoma, sem atuadores externos, possibilitando a caracterização da piezoresistência em nanofios individuais utilizando uma única etapa de litografia por feixe de elétrons. Vale ressaltar que este é um estudo pioneiro na área de nanofabricação de nanofios de silício e o grupo do Prof. Puydinger é atualmente o único no mundo que desenvolve tais plataformas de tensionamento autônomo. A proposta principal do estudo é simplificar o processo de fabricação de protótipos de dispositivos baseados em nanofios ultra-tensionados, torná-lo reprodutível e reduzir seu custo de produção. Isso permitirá construir protótipos de dispositivos baseados em nanofios ultra-tensionados para as mais diversas aplicações, como sensores químicos e físicos, além de sistemas nanoeletromecânicos (NEMS). A fabricação desses dispositivos tensionados sem atuadores externos é o grande diferencial do estudo, já que eles poderão ser empregados diretamente em aplicações tecnológicas. É importante destacar que este trabalho conta com a colaboração internacional do professor Renato Minamisawa, da University of Applied Sciences Northwestern Switzerland (FHNW), na Suíça e do professor José Alexandre Diniz (FEEC).
O projeto de mestrado conta com o apoio da FAPESP, do CNPq e do INCT NAMITEC.
